生產(chǎn)潔凈廠房的特點(diǎn)及其要求

隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，許多產(chǎn)品及其研制開(kāi)發(fā)過(guò)程中都需要潔凈的生產(chǎn)環(huán)境，在一些研究試驗(yàn)中也需要潔凈或相關(guān)受控環(huán)境。其中微電子產(chǎn)品、醫(yī)藥產(chǎn)品等生產(chǎn)工藝的發(fā)展尤為迅速，大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路和TFT-LCD液晶顯示器的生產(chǎn)是微電子工業(yè)發(fā)展最快的產(chǎn)業(yè)，研發(fā)周期短，產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和生產(chǎn)規(guī)模都發(fā)展極快，集成電路12in晶圓生產(chǎn)工廠在國(guó)內(nèi)已建成多家，芯片線寬10nm的產(chǎn)品已在國(guó)內(nèi)批量生產(chǎn)，國(guó)內(nèi)已建成多家8代、10代或10.5代TFTLCD液晶顯示器生產(chǎn)工廠。醫(yī)藥生物制品生產(chǎn)工藝日新月異，由于藥品生產(chǎn)質(zhì)量與人民健康密切相關(guān)，若生產(chǎn)過(guò)程受到微粒和微生物污染，一旦進(jìn)入人體將直接影響人體健康，因此藥品生產(chǎn)環(huán)境控制要求十分嚴(yán)格，日益受到人們的高度關(guān)注。

這些生產(chǎn)潔凈廠房的主要特點(diǎn)是:對(duì)空氣潔凈度的要求十分嚴(yán)格，微電子工廠中的芯片生產(chǎn)核心區(qū)要求空氣潔凈度等級(jí)達(dá)到ISO1~3級(jí)，控制粒徑小于0.01um，甚至更小的粒徑。生產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程的連續(xù)性、自動(dòng)化傳輸以及生產(chǎn)速率的提高，要求產(chǎn)品用場(chǎng)地具有大空間大體量，一個(gè)潔凈生產(chǎn)區(qū)的面積大且不可分割。如TFT-LCD液晶顯示器生產(chǎn)線的一個(gè)潔凈生產(chǎn)區(qū)面積可達(dá)數(shù)萬(wàn)平方米，我國(guó)近年投產(chǎn)的10.5代TFT-LCD液晶顯示器生產(chǎn)用潔凈室的面積超過(guò)10X10⁴m²。芯片生產(chǎn)用潔凈廠房的潔凈生產(chǎn)區(qū)面積達(dá)33000m²，潔凈廠房高度為17.0~31.0m;薄膜晶體管液晶顯示器件(TFT-LCD)生產(chǎn)用潔凈廠房的潔凈區(qū)面積達(dá)94000m²，潔凈廠房高度為20~33.0m。這類(lèi)潔凈廠房的潔凈生產(chǎn)區(qū)由于產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程的連續(xù)性和自動(dòng)化傳輸要求，一般是不可分割的，因此對(duì)廠房布置和消防疏散設(shè)計(jì)。并且這類(lèi)潔凈廠房均采用單向流潔凈室，在潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設(shè)置上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層，有的還采用2個(gè)潔凈生產(chǎn)區(qū)疊加布置，且各技術(shù)夾層還不能共用，因此潔凈生產(chǎn)區(qū)的上技術(shù)夾層為其送風(fēng)層，下技術(shù)夾層為其回風(fēng)層。中凈環(huán)球凈化可提供潔凈車(chē)間、無(wú)塵廠房等的咨詢、規(guī)劃、設(shè)計(jì)、施工、安裝、改造等配套服務(wù)。

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